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FFU层流罩特点及应用

    信息来源:http://www.hefil.com.cn/ 发布时间:2014/1/29 9:37:36 点击数: Tags: 净化设备

FFU层流罩一般都运用于对洁净度要求较高的行业,它是一种可以提供局部洁净环境的空气净化单元,就是将空气以一定的风速通过高效过滤后,形成均流层,使洁净空气呈垂直单向流,从而保证了工作区内达到工艺要求的高洁净度。

一、FFU层流罩构造相关:

FFU层流罩由静压箱、风道、风机、气流均衡装置、先进控制系统、金属防护网、高效过滤器机箱外壳体等部件组成。

FFU层流罩可模块化连接使用,使得FFU风机过滤单元应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用场合。

FFU层流罩壳体结构可选用不锈钢、铝板及冷轧钢板静电喷涂材质,具有重量轻、抗腐蚀、防锈、美观大方的优点。

FFU层流罩独立性的结构特点,可随时调整,弥补洁净室机动性不足,从而解决了生产工艺不宜调整的缺点。

二、FFU层流罩特点应用相关:

灵活性:层流罩是自带动力,它不受地域的限制,在一个大的洁净厂房中,它可以根据需要,进行分区控制。而随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,层流罩的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。

可再利用性:从理论上讲,一时不用的层流罩设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。

负压通风:这一点是该设备的独特特点,因为本身能够提供静压。使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。

FFU层流罩的使用,为用户省掉了安装和风管制作的程序,对于任何一个投资者来说,都希望能够在投资中快的获得收益,而FFU层流罩的选用就使其成为了一种可能。

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